[스마트경제=복현명 기자] 정종호 국민대학교 신소재공학부 4학년 학생이 제1저자로 SCI 학술지 Materials Letters에 ‘Unusual n-type doping of monolayer WSe2 by CF4 plasma treatment’ 라는 제목으로 논문을 게재했다.
Materials Letters는 네덜란드에서 매월 두 차례 발행되는 Materials Letters는 반도체를 포함한 응용물리·재료공학 분야의 SCI 학술지이다.
정종호 국민대 학생은 실리콘 반도체 공정에서 널리 사용하는 불화탄소(CF4) 플라즈마 공정을 이셀렌화텅스텐 트랜지스터에 적용해 공정 조건에 따라 기존의 연구 결과와 상반된 결과가 나타남을 증명했다.
통상 불화탄소 플라즈마 공정 후 양전하인 정공 주입 효과가 나타나는 것으로 알려져 있으나 정종호 학생은 공정 조건에 따라 음전하인 전자 주입 효과가 나타날 수 있는 것을 최초로 확인했다. 이런 연구 결과는 향후 이셀렌화텅스텐을 포함한 2차원 반도체의 실용화 연구에 크게 기여할 것으로 예상된다.
반도체 산업에서는 현재 실리콘 재료의 한계로 다양한 차세대 반도체 재료의 연구가 활발히 진행 중이며 최근 이셀렌화텅스텐(WSe2) 등 2차원 반도체가 크게 주목받고 있다. 2차원 반도체는 향후 반도체, 디스플레이, 배터리 등 다양한 분야에서 응용될 잠재력을 가지고 있는 것으로 기대되지만 아직 재료의 기본 특성에 대한 이해가 부족한 상황이다.
연구를 지도한 최웅 국민대 신소재공학부 교수는 "정종호 학생은 스스로 연구 주제를 찾아서 연구를 진행했으며 이는 대학원생들도 하기 힘든 일"이라며 "본 논문은 정종호 학생의 재능과 노력이 합작해 이룬 결과물"이라고 말했다.
복현명 기자 hmbok@dailysmart.co.kr
